真空镀膜机夹具改造及异形光学器件镀膜工艺实验

       真空镀膜机夹具改造及异性光学器件镀膜工艺实验项目通过对WTX1100真空镀膜机平面公自转夹具及机械传动系统进行改造，结合石英晶振膜厚监控系统，进行了异形光学器件的应用范围的预期目标，并在此基础上开发研制出系列异形光学镀膜元器件产品。包括研制成功了一套异形夹具，解决了环状、柱状物品表面镀膜的均匀性问题，同时进行了镀膜工艺实验，掌握了与异形夹具配套的光学镀膜系统的设计方法，并取得了良好的效果，已有各类型的异形基片的镀膜产品的小批量样品生产出来，并交付相关客户进行了此类的产品的后期实验工作。

       项目主要内容：

       1）设计、安装并调试机械传动装置，夹具运动参数达到预期目标，使真空镀膜加工元件范围由平面元件向三维元件扩展的目的。

       2）校正石英晶振膜厚监控参数，使工件表面主要部位光学薄膜与设计的膜系一致。

       3）开发导型光学薄膜元器件产品。

       本项目研制的异形工件夹具走在了国内同行在加工异形工件水平的前列，同时，市面上也没有该类产品出售。而各种类型异形光学器件的镀膜目前市场需求也非常之大。市场前景相当可观，在利用本院光学镀膜和玻璃检测的市场基础，投产后能获得非常明显的经济效益，进而对我院的技术升级和镀膜技术的提高必有重要的意义，社会效益显著。

       知识产权及获奖情况：该项目具有核心技术