超精密光学系统

       本研究中心以193nm光刻投影物镜研究项目为牵引，建立超高精密光学制造平台，突破超高精度面形检测技术、1mm级大偏离量非球面中频误差平滑技术、优于0.5nm精度面形精修技术、深亚纳米精度超光滑技术等一系列关键技术，已具备纳米/亚纳米级精度光学加工、检测能力，满足低、中、高全频段空间形貌精度要求，超精密光学系统研制的技术水平步入世界先进行列。本中心现可对外提供包含500mm口径以内的平面、球面、（高次、大偏离量）非球面等多种曲面，同轴、离轴透镜与反射镜等多种类型，光学玻璃、金属等多种材料，红外、紫外等不同波段应用的元件制造及其他元件级、系统级的定制服务。